多晶硅生產線廢氣余熱回收技術

多晶硅是半導體行業的直接原料，作為半導體、電子信息工程和光伏電池生產基本的功能材料之一。多晶硅材料的生產線消耗的能源量大，產生的高溫廢氣余熱回收成了一項重要的環保措施。

一、多晶硅生產線余熱回收意義

近些年來光伏產業開始迅猛發展，光伏發電技術在發電總量上的占比越來越大，也造成了多晶硅材料的供不應求。對于多晶硅生產企業而言工業生產造成的熱污染與環境污染問題日益嚴重用，可持續發展技術的應用能有效解決熱污染，利用余熱回收設備把廢氣中的熱能與空氣或熱水減少日益嚴重的環境污染問題。

二、多晶硅余熱回收流程

多晶硅行業的廢氣來源有兩種，生產線中TCS合成、冷凝、蒸餾、再生工序產生的廢氣和廢液被壓縮空氣霧化后產生的氣體，傳統處理上這些廢氣余熱不經二次利用直接排放，采用余熱回收工藝則需要將廢氣一同進入焚燒爐中進行焚燒，排出的煙氣溫度約為950攝氏度左右，煙氣進入余熱回收設備中間接加熱水，使其變為低壓蒸汽或過熱水供應廠區使用。從余熱回收設備排出的煙氣大部分熱能得到轉化利用，煙溫得到降低經過后續處理后即可由煙囪排放。

三、多晶硅生產線廢氣余熱回收前景

廢氣余熱回收設備在技術成熟度、設備投資成本等方面具有更好的優勢，隨著未來技術的不斷進步和環保政策的推動，會出現更多智能化的余熱回收技術應用到各行業的余熱回收項目中，為可持續發展貢獻更大的力量。